Halbleiter-
Industrie

HLU-atea ist Spezialist für die Reinigung von Abluft der Halbleiterindustrie:

  • Abluftreinigungsanlagen
  • Gegenstromwäscher
  • Kreuzstromwäscher
  • Adsorber
  • Thermische und regenerative Nachverbrennungsanlagen
  • Rohrleitungen (FM approved)

HLU-atea ist in der Lage die gesamten Abluftströme zu erfassen und zu behandeln. Wir führen den Acid bzw. den Caustic Exhaust separaten Kreuz- oder Gegenstromwäschern zu. Getrennt davon wird der Solvent Exhaust in thermischen Anlagen behandelt. Der General Exhaust wird ebenfalls separat erfasst, gesammelt und abgeleitet.

HLU-atea kann dabei die gesamte Projektabwicklung einschließlich Verrohrung und Montage sämtlicher Anlagen übernehmen. Kompetent, termingerecht und kostengünstig.